镀膜玻璃、芯片、碳膜、纳米标尺等材料表面洁净度检查，常用的一般是体视显微镜和金相显微镜。体视显微镜发大倍数在7-55X之间?？梢约觳?um及以上的污染物，并且检查的视场范围较大。金相显微镜发大倍数在5X-1000X之间，可以很容易发现0.5um的污染物，但视场范围小。所以污染物在5um以上一般建议选体视显微镜。
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